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全自動(dòng)和半自動(dòng)GC特氣柜 BSGS特氣柜 VMB特氣柜 TMA特氣柜 Scrubber尾氣處理柜 特氣分配柜 VDB特氣柜 VDP特氣柜

技術(shù)參數(shù)

可選
*紫外/紅外火焰探測器
*氣缸關(guān)閉裝置
*面板加熱裝置
*以太網(wǎng)通訊模塊
*CGA Guarder 保護(hù)裝置
*過流開關(guān)
*氣缸控制
*稱重秤
*氣缸加熱裝置

特氣柜是一種用于供應(yīng)和管理特種氣體的設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體、LED等新興產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)過程中。這些特種氣體包括易燃、易爆、劇毒等具有一定危險(xiǎn)性的氣體，（SiH4）等。

在CVD（化學(xué)氣相沉積）等生產(chǎn)過程中，特氣柜發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠滿足生產(chǎn)過程中對氣體原材料的高純度和連續(xù)穩(wěn)定供給的要求，確保生產(chǎn)正常進(jìn)行和員工人身安全。特氣柜內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，使得氣體在傳送過程中經(jīng)過多次自動(dòng)吹掃，避免被氣體雜質(zhì)污染，保證氣體原材料的純度。

此外，特氣柜還具有報(bào)警偵測警報(bào)功能，在緊急情況下會(huì)自動(dòng)安全切斷，保障生產(chǎn)安全和人員安全。全自動(dòng)特氣柜的柜體板材厚度不低于2.5mm，有防腐蝕涂層，柜門關(guān)閉時(shí)，氣瓶柜內(nèi)部處于負(fù)壓狀態(tài)，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣的頻率不低于300次/H，從而確保特氣柜在各種環(huán)境下都能穩(wěn)定運(yùn)行。